- Uhin-luzera sorta: 190-900 nm
- Uhin-luzeraren zehaztasuna eta erreproduzigarritasuna: Uhin-luzeraren zehaztasuna: ± 0,20 nm baino hobea Erreproduzigarritasuna: 0,06 nm baino hobea
- Bereizmena: 0,2 nm ± 0,02 nm,
- Oinarrizko egonkortasuna: Estatikoa: oinarri-lerroa ,s;;0,003Abs/30min, berehalakoa, Berehalako zarata ,s;;0,0005Abs Dinamika: oinarri-lerroa ,s;;0,003Abs/15min, Berehalako zarata ,s;;0,003Abs
- Cu determinazioa suaren bidez: detekzio-muga ≤0,003 µ g/ml
- Sentikortasuna ≤0,03 µ g/mU1%
- Zehaztasuna≤0,5%
- Korrelazio koefiziente lineala ≥0,9998, barruti lineala ≥0,65Abs
Cd determinazioa grafito-labearen bidez:
- Detekzio muga≤0.5pg
- Sentikortasuna≤0.6pg
- Zehaztasuna≤2,8%
- Korrelazio linealaren koefizientea ≥0,9994
Atzeko planoaren zuzenketa:
- D2 lanpara atzeko planoa zuzentzeko gaitasuna 1A-n 30 aldiz baino hobea da.SH atzeko planoa zuzentzeko gaitasuna 1.8A-n 30 aldiz baino hobea da.