- Uhin-luzeraren tartea: 190-900nm
- Uhin-luzeraren zehaztasuna eta erreproduzigarritasuna: Uhin-luzeraren zehaztasuna: ± 0,20 nm baino hobea Erreproduzigarritasuna: 0,06 nm baino hobea
- Bereizmena: 0,2 nm ± 0,02 nm,
- Oinarrizko Egonkortasuna: Estatikoa: oinarrizko desbideratzea, s;;0.003Abs/30min, berehalakoa, Berehalako zarata, s;;0.0005Abs Dinamikoa: oinarrizko desbideratzea, s;;0.003Abs/15min, Berehalako zarata, s;;0.003Abs
- Cu-ren zehaztapena sugarraren bidez: Detekzio-muga ≤0,003 µ g/ml
- Sentikortasuna ≤0.03 µ g/mU1%
- Zehaztasuna ≤0.5%
- Korrelazio linealaren koefizientea ≥0.9998, Lineal tartea ≥0.65Abs
Cd-ren zehaztapena grafito-labearen bidez:
- Detekzio muga ≤0.5pg
- Sentikortasuna ≤0.6pg
- Zehaztasuna ≤2.8%
- Korrelazio linealaren koefizientea ≥0.9994
Atzeko planoaren zuzenketa:
- D2 lanpararen atzeko planoaren zuzenketa gaitasuna 1A-tan 30 aldiz baino hobea da. SH atzeko planoaren zuzenketa gaitasuna 1.8A-tan 30 aldiz baino hobea da.